此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上
自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果
啟動(dòng)電爐,排溫風(fēng)機(jī)同時(shí)自動(dòng)運(yùn)行,試驗(yàn)結(jié)束后,排溫風(fēng)機(jī)將繼續(xù)運(yùn)行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風(fēng)機(jī)自行停止,有效保護(hù)了爐體表面
爐門開啟自動(dòng)斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能,以確保使用的安全性
電路采用連續(xù)加熱輸出方式,雙回路供電,強(qiáng)弱電單獨(dú)走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性
加熱模塊采用直流信號(hào)調(diào)節(jié)輸出功率,避免了感應(yīng)電對(duì)控制信號(hào)的干擾
操作按鍵選用低壓金屬按鈕,自帶狀態(tài)指示燈,操作安全直觀
上下爐體采用航空插頭連接方式,連接安全方便
氣路總成采用食品級(jí)316不銹鋼制成,具有耐蝕性,耐大氣腐蝕性和耐高溫強(qiáng)度好,無磁性
采用數(shù)顯流量顯示儀,配合質(zhì)量流量控制器,采集數(shù)據(jù)并控制流量。重復(fù)性好,相應(yīng)速度快,穩(wěn)定等特點(diǎn)。(氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng))
自動(dòng)控制與手動(dòng)控制切換功能,自動(dòng)控制模式能通過設(shè)定值自動(dòng)開啟/關(guān)閉真空泵,使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動(dòng)控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實(shí)驗(yàn)的需要。(中真空控制系統(tǒng))
電磁閥緩啟動(dòng)技術(shù),使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開,使?fàn)t管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準(zhǔn)確,也保證了廢氣不會(huì)返回到爐管系統(tǒng)影響實(shí)驗(yàn)效果(中真空控制系統(tǒng))
■安全性:
過升報(bào)警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時(shí)。
采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制,保證安全。
采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi),確保不會(huì)泄露。
溫區(qū) | 單溫區(qū) | 雙溫區(qū) | ||||||
型號(hào) | CVD-TF16P50 | CVD-TF16P60 | CVD-TF16P80 | CVD-TF16P100 | CVD-TF16P60S | CVD-TF16P80S | CVD-TF16P100S | |
CVD-TF16T50 | CVD-TF16T60 | CVD-TF16T80 | CVD-TF16T100 | CVD-TF16P60S | CVD-TF16T80S | CVD-TF16T100S | ||
性能 | 使用溫度范圍 | 300~1600℃ | ||||||
溫度分辨率 | 1℃ | |||||||
控溫 | ± 1℃ | |||||||
升溫速率 | 0~20℃/min | |||||||
加熱區(qū)長度 | 260mm | 600mm | ||||||
恒溫區(qū)長度 | 120mm | 300mm | ||||||
真空度 | -0.1MPa | |||||||
空爐升溫時(shí)間 | <15min | |||||||
構(gòu)成 | 外裝 | 冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝 | ||||||
爐膛體 | 多晶莫來石纖維 | |||||||
爐膛尺寸 | 440*390*330 | 780*390*330 | ||||||
爐管 | 剛玉管 | |||||||
爐管尺寸 | φ50*1000 | φ60*1000 | φ80*1000 | φ100*1000 | φ60*1200 | φ80*1200 | φ100*1200 | |
加熱器 | 硅鉬棒 | |||||||
加熱功率 | 4KW | 4KW | 10KW | 10KW | ||||
斷熱層 | 雙層強(qiáng)制風(fēng)導(dǎo)流 | |||||||
控制 器 | 控制器 | P:進(jìn)口程序控溫?cái)?shù)碼顯示; T:7寸彩色觸摸屏程序控溫 | ||||||
控制方式 | 使用微型電腦PID控制 / S型雙溫區(qū)單獨(dú)控溫 | |||||||
設(shè)定方式 | P:輕觸五按鍵動(dòng)作、數(shù)顯設(shè)定; T:手指觸摸輕點(diǎn)設(shè)定 | |||||||
顯示方式 | P:雙行LED數(shù)字顯示; T:彩色液晶屏顯示 | |||||||
定時(shí) | 0~999.9小時(shí) | |||||||
運(yùn)行功能 | 定值運(yùn)行、程序運(yùn)行 | |||||||
程序模式 | P:程序運(yùn)行、4條曲線、共40步; T:50步 可調(diào)用儲(chǔ)存程序 | |||||||
傳感器 | S型熱電偶 | |||||||
附屬功能 | P:校正功能; T:校正功能、實(shí)時(shí)曲線記錄、U盤數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||||
安全裝置 | 過流漏電保護(hù)開關(guān) | 過流保護(hù)開關(guān) | ||||||
質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | 氣路數(shù)量 | 3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量) | ||||||
流量范圍 | 0-0500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,可選配)氮?dú)鈽?biāo)準(zhǔn) | |||||||
精度 | ±1%F.S | |||||||
響應(yīng)時(shí)間 | ≤4s | |||||||
工作溫度(流量計(jì)) | 5-45℃ | |||||||
工作壓力 | 進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力) | |||||||
系統(tǒng)連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測量儀 | |||||||
中真空 | 系統(tǒng)真空范圍 | 10-100Pa | ||||||
控制系統(tǒng) | 真空泵 | 雙級(jí)機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/s,出氣口配有油污過濾器,額定電壓200V,功率0.55Kw | ||||||
CVD系統(tǒng)配置 | 1600度真空管式爐(可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)) 多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) 真空系統(tǒng) |